一、定义及分类
光刻机，又称光刻对准曝光机、掩模对准曝光机、曝光系统或光刻系统等，是光刻工艺乃至整个芯片制造过程中的核心设备。按操作简便性程度，光刻机可分为手动光刻机、半自动光刻机和全自动光刻机；按曝光方式的不同，可分为接近接触式光刻机、直写光刻机和光学投影式光刻机；按光源类型的不同，可分为紫外（UV）光刻机、深紫外（DUV）光刻机和极紫外（EUV）光刻机。
二、发展历程
国内光刻机产业起步较晚，与海外巨头差距明显。1977年，清华大学精密仪器系、中科院光电所、中国电子科技集团公司第四十五研究所（简称中电科45所）等先后投入研制光刻机。我国也时隔近十年，研制出了具有一定代表意义的光刻机——接触式光刻机GK-3型半自动光刻机。进入21世纪，随着中国经济的快速崛起和科技实力的不断增强，光刻机研发迎来新的发展机遇。国家加大了对半导体产业的扶持力度，推动了光刻机等关键设备的国产化进程。2016年，上海微电子SSX600系列三款步进扫描投影光刻机实现量产。且华卓精科成功研制出两套双工作台样机，并通过02专项验收。2019年，清华大学和华卓荆轲的双工件台系统完成研发和试产基地建设。上海微电子装备股份有限公司披露，将在2022年交付第一台28nm工艺的国产沉浸式光刻机。2024年，我国成功突破65nm干式光刻机方向，这是一次跨越式进步，距离28nm方向又更近了一步。2025年4月，上海微电子宣布：其自主研发的SSA800型28nm光刻机完成工艺验证，即将进入量产阶段。
三、市场规模
光刻机作为一种高精度仪器，主要用于半导体工业中的芯片制造。近年来，随着5G、人工智能、物联网等技术的快速发展，5G、人工智能、物联网等技术的快速发展，为光刻机行业带来了前所未有的发展机遇。在技术层面，极紫外光刻（EUV）等先进技术的突破显著提升了芯片制造的精度和效率，使得晶体管特征尺寸得以不断微缩，推动着整个半导体产业向前发展。在政策层面，中国政府持续加大对半导体产业的支持力度，为国产光刻机的发展提供了有力保障。数据显示，2024年中国光刻机行业市场规模约为178.75亿元。未来，随着新能源汽车、人工智能、物联网等新兴产业的快速发展，芯片需求持续增长，将进一步推动光刻机市场的繁荣。
数据整理：中金企信国际咨询
四、竞争格局
光刻机被誉为半导体工业皇冠上的明珠，是芯片制造流程中的核心设备。其光刻的工艺水平直接决定芯片的制程、性能，是半导体工业中最复杂、最关键的环节。目前全球光刻机行业呈现寡头垄断格局，荷兰ASML、日本Canon和日本Nikon三家供应商占据绝大多数市场份额。国内光刻机企业主要包括上海微电子、芯碁微装、芯源微、富创精密等企业。其中，上海微电子是目前中国第一家也是唯一一家光刻机巨头，具备90nm及以下的芯片制造能力。
第一章 光刻机简介
第一节 光刻机定义
第二节 光刻机市场发展概述
第三节 光刻机行业发展成熟度
第二章 2019-2024年光刻机行业发展环境分析
第一节 2019-2024年经济发展环境分析
一、中国GDP增长情况分析
二、工业经济发展形势分析
三、全社会固定资产投资分析
四、城乡居民收入与消费分析
五、社会消费品零售总额分析
六、对外贸易的发展形势分析
第二节 中国光刻机行业政策环境分析
一、行业监管部门及管理体制
二、产业相关政策分析
三、上下游产业政策影响
四、进出口政策影响分析
第三节 中国光刻机行业技术环境分析
一、行业技术发展概况
二、行业技术水平分析
三、行业技术特点分析
四、行业技术动态分析
第三章 2019-2024年中国光刻机行业发展分析
第一节 光刻机行业发展状况分析
一、光刻机行业发展现状概况
二、光刻机行业生产企业现状
三、光刻机行业产量情况分析
第二节 光刻机行业运营状况分析
一、光刻机行业市场需求现状
二、光刻机行业市场规模分析
三、光刻机行业盈利水平分析
第三节 光刻机市场价格及影响因素分析
一、光刻机市场价格走势分析
二、光刻机市场价格影响因素
第四章 中国光刻机行业市场区域结构分析
第一节 光刻机行业市场需求结构分析
第二节 光刻机行业市场需求结构分析
第五章 2019-2024年中国光刻机行业财务状况
第一节 中国光刻机行业经济规模
一、光刻机业销售规模
二、光刻机业利润规模
三、光刻机业资产规模
第二节 中国光刻机行业盈利能力指标分析
一、光刻机业亏损面
二、光刻机业销售毛利率
三、光刻机业成本费用利润率
四、光刻机业销售利润率
第三节 中国光刻机行业营运能力指标分析
一、光刻机业应收账款周转率
二、光刻机业流动资产周转率
三、光刻机业总资产周转率
第四节 中国光刻机行业偿债能力指标分析
一、光刻机业资产负债率
二、光刻机业利息保障倍数
第五节 中国光刻机行业财务状况综合评价
一、光刻机业财务状况综合评价
二、影响光刻机业财务状况的经济因素分析
第六章 中国光刻机行业竞争状况分析
第一节 光刻机行业竞争结构波特模型分析
一、现有竞争者分析
二、潜在进入者分析
三、替代品分析
四、供应商议价能力分析
五、客户的议价能力分析
第二节 中国光刻机行业市场竞争状况分析
一、成本竞争分析
二、价格竞争分析
三、技术竞争分析
第三节 中国光刻机行业兼并重组分析
一、光刻机行业兼并重组背景
二、光刻机行业兼并重组意义
三、光刻机行业兼并重组方式
四、光刻机行业兼并重组策略
第四节 中国光刻机企业竞争策略分析
一、坚守核心主业
二、构建优质渠道
三、整合优质资源
四、提升经营能力
五、树立品牌形象
六、调整市场策略
第七章 2019-2024年光刻机所属行业进出口数据分析
第一节 2019-2024年光刻机进口分析
一、光刻机进口数量情况
二、光刻机进口金额分析
三、光刻机进口来源分析
四、光刻机进口价格分析
第二节 2019-2024年光刻机出口分析
一、光刻机出口数量情况
二、光刻机出口金额分析
三、光刻机出口流向分析
四、光刻机出口价格分析
第八章 光刻机主要生产厂商竞争力分析
第一节 企业一
一、企业发展基本情况
二、企业主要经济指标
三、企业偿债能力分析
四、企业盈利能力分析
第二节 企业二
一、企业发展基本情况
二、企业主要经济指标
三、企业偿债能力分析
四、企业盈利能力分析
第三节 企业三
一、企业发展基本情况
二、企业主要经济指标
三、企业偿债能力分析
四、企业盈利能力分析
第四节 企业四
一、企业发展基本情况
二、企业主要经济指标
三、企业偿债能力分析
四、企业盈利能力分析
第五节 企业五
一、企业发展基本情况
二、企业主要经济指标
三、企业偿债能力分析
四、企业盈利能力分析
第九章 2025-2031年中国光刻机市场前景预测分析
第一节 2025-2031年中国光刻机行业投资前景分析
一、光刻机行业投资环境分析
二、光刻机行业市场前景预测
三、光刻机市场投资机会分析
第二节 2025-2031年光刻机行业投资策略及建议
一、企业并购融资方法渠道分析
二、利用股权融资谋划发展机遇
三、利用政府杠杆拓展融资渠道
四、适度债权融资配置资本结构
五、关注民资和外资的投资动向
第十章 光刻机企业投融资战略规划分析
第一节 光刻机企业发展战略规划背景意义
一、企业转型升级的需要
二、企业强做大做的需要
三、企业可持续发展需要
第二节 光刻机企业发展战略规划的制定原则
一、科学性
二、实践性
三、前瞻性
四、创新性
五、全面性
六、动态性
第三节 光刻机企业战略规划制定依据
一、国家产业政策
二、行业发展规律
三、企业资源与能力
四、可预期的战略定位
第四节 光刻机企业战略规划策略分析
一、战略综合规划
二、技术开发战略
三、区域战略规划
四、产业战略规划
五、营销品牌战略
六、竞争战略规划
中金企信国际咨询相关报告推荐（2024-2025）
《2025-2031年中国笔记本散热器行业运行环境分析及竞争战略可行性评估报告-中金企信发布》
《2025-2031年全球及中国显卡芯片市场发展战略研究及投资可行性预测咨询报告》
《2025-2031年中国集成电路行业产销数据分析及发展前景分析预测报告》
《全球交换机市场供需结构分析及投资战略预测评估报告（2025版）-中金企信发布》
《半导体制冷片（TEC）行业“十五五”市场发展趋势研究及投资建议评估预测报告（2025版）》